江蘇華飛合金材料科技有限公司精細(xì)線的核心制造工藝
1. 光刻與蝕刻技術(shù)
PCB/HDI 板:
半加成法(SAP):通過(guò)光阻曝光定義線路圖形,再電鍍銅形成精細(xì)線,線寬精度 ±5μm,適用于 20-50μm 線寬。
激光直接成像(LDI):替代傳統(tǒng)掩膜曝光,分辨率達(dá) 20μm 以下,常用于高 端 HDI 板(如蘋(píng)果 A17 芯片載板)。
半導(dǎo)體封裝:
紫外光刻(UV Lithography):利用 193nm ArF 激光,配合干法 / 濕法蝕刻,實(shí)現(xiàn) 10μm 以下線寬(如 FC-BGA 基板)。
2. 增材制造(3D 打印)
噴墨打印:將銀納 米墨水直接噴射到基板上,形成 10-30μm 線寬,適用于柔性電子(如三星折疊屏電路)。
納 米壓印(NIL):通過(guò)模具壓印將金屬漿料轉(zhuǎn)移至基板,線寬可達(dá) 5μm,成本比光刻低 30%。
3. 沉積與電鍍技術(shù)
物理 氣相沉積(PVD):磁控濺射銅 / 鋁薄膜,再蝕刻形成精細(xì)線,適用于超薄柔性基板(厚度 < 50μm)。
電化學(xué)沉積(ECD):在催化基板上選擇性電鍍銅,線寬均勻性 ±2μm,常見(jiàn)于半導(dǎo)體引線框架。